Il primo microscopio elettronico fu costruito nel 1926 da Hans Busch.
Tuttavia, i tedeschi Ernst Ruska e Max Knoll furono i primi a costruire, nel 1931, un prototipo di microscopio elettronico con un ingrandimento di circa 400X.
L'evoluzione di tale strumento fu resa possibile grazie ai finanziamenti della Siemens-Schuckertwerke (1937), affinché si potesse utilizzare il microscopio per analizzare campioni biologici.
Finalmente nel 1938, presso l'Università di Toronto, venne costruito un microscopio elettronico capace di analizzare i campioni biologici e, un anno dopo, la Siemens commercializzo il primo microscopio elettronico a trasmissione (TEM).
Nel 1939 James Hillier, insieme ad Albert Prebus, riuscì a costruire il primo microscopio elettronico ad "alta risoluzione"
Nonostante il microscopio brevettato da Marton sia molto più efficace dei suoi "predecessori", esso si basa sul prototipo di Ruska.
Prototipo del microscopio
costruito da Ernst Ruska
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